本人比较倾向于高精度位移传感器，尤其是ZLDS/N-100高精度位移传感器，它是一款非接触式高精度光学位移传感器，具有100微米的量程和15纳米的分辨率。高精度传感器的起始测量距离是3mm，对于被测体有较宽的适用范围，比如金属，半导体和玻璃。该传感器可以很容易与现有设计相接合，而且具有较大的基准距，高精度传感器可以相当于一个高分辨率的电容传感器。对于定点测量，振动测量，表面轮廓测量，ZLDS/N-100都是一款理想的测量工具。